随着科学技术的发展，粉末冶金过程和金属材料热处理中广泛使用真空炉。真空炉的种类很多：

(1)按用途可分为真空碳化炉、真空烧结炉、真空退火炉、真空淬火炉、真空回火炉以及真空渗碳炉等。

(2)按热源可分为电阻加热真空炉、感应加热真空炉、电弧加热真空炉、等离子弧加热真空炉和电子束加热真空炉。

(3)按真空度可分为低真空炉、高真空炉和超真空炉。

(4)按工作温度可分为低温真空炉(低于700℃)、中温真空炉(700〜1000℃)和高温真空炉(1000℃以上)。

(5)按作业性质可分为周期式真空炉和连续式真空炉。

(6)按炉子的形式可分为竖式真空炉和卧式真空炉。

从真空炉的结构和加热方式的角度上可以归纳为两大类：一类是外热式真空炉，另一类是内热式真空炉，两者均以真空电阻炉为主。外热式真空炉通常称为热壁炉，也称为马弗炉。这种炉子的加热部分与隔热部分，即电热元件和隔热层设置在真空室外面，工件放在真空室的内部，工件依靠间接加热。真空退火炉往往是外热式真空热处理炉。内热式真空炉通常称为冷壁炉。这种炉子的电热元件和隔热层构成的加热室，全部放在水冷夹层结构的真空炉壳内。内热式真空炉与外热式真空炉相比，构造复杂，但使用温度高、热效率高、生产率也高，可以实现快速加热和快速冷却。因此，内热式真空炉得到了迅速发展，已成为真空烧结和真空退火、真空淬火、真空回火的主要用炉。