不锈钢真空热处理可依据钢种的不同，用于退火、固溶化、淬火、回火、去应力等处理。

（1）设备的选择。真空热处理炉有不同的型式（立式、卧式、组合式等），不同的加热热源（电阻加热、感应加热、电子束加热、等离子加热等），不同的加热方式（外加热、内加热等）。按使用温度可分为低温炉（≤700℃）、中温炉（>700～1000℃）、高温炉（>1000℃），按极限真空度可分为低真空（1.33×103～13.3Pa）、中真空（13.3～1.33×10-2Pa）、高真空（1.33×10-2～1.33×10-4Pa）、超高真空（1.33×10-4Pa以上）。

对于不锈钢真空热处理来说，主要考虑设备操作方便，系统安全可靠，极限真空度达到13.3～1.33×10-2Pa即可满足使用要求。更高的极限真空度要求会增大设备成本。压升率不大于0.6Pa/h，温度均匀性要高，温差一般不大于±5℃，具有可满足冷却需要的气冷或油冷装置。

（2）不锈钢真空热处理操作要点。

①考虑到真空热处理加热特点，不锈钢工件在真空炉中摆放需要保留一些间隙，保证工件各个表面都能热处理到位。

②由于不锈钢工件的加热工艺温度比较高，通常在1000度以上，所以需要让工件在真空热处理炉内在800度左右预热一段时间，不锈钢体得到一个缓冲适应高温后，缓步升至工艺要求温度。

③按照工艺要求让不锈钢工件在真空热处理炉内加热一定时间。

④真空度的调整对工件热处理的质量也至关重要，需要根据操作经验合理选择真空度。

⑤为了提高工件的韧度，通过高温热处理后需要在低温区回火一段时间。

⑥不锈钢工件真空热处理结束出炉后，采用合适的方式如空冷，油冷，炉冷进行冷却处理。